KOREA FANUC CORPORATION
FANUC
>>> 제품소개
Nano의 세계를 개척하는 초정밀 Nano 가공기
FANUC ROBONANO α-0iB
FANUC ROBONANO αiB 는, FANUC의 컨트롤 기술을 결집하여, 기계 가공의 한계에 도전하는 초정밀 Nano 가공기입니다.

광(光)일렉트로닉스 분야는 물론, 반도체, 바이오, 의료 분야 등, Nano 정도(精度)가 요구되는 하이테크 기기 부품의 연구 개발에서 양산까지, 폭 넓게 유용하게 쓸 수 있습니다.

특징

FANUCNano 컨트롤 기술을 결집하여, 기계 가공의 한계에 도전

  • FANUC의 최신 CNCFANUC Series 30i-MODEL A로, FANUC 최신의 리니어 모터와, 동기(同期) 빌트인 서보 모터를 제어함으로써, 각 축을 고정도로 다이렉트 구동합니다.
  • 기계 제어 구조를 심플하게 함으로써, 고성능과 고신뢰성을 실현하고 있습니다.
  • 직선축에서 1nm, 회전축에서 100만분의 1° 의 지령 분해능으로 제어 가능합니다.
전정압(全靜壓) 공기 베어링

  • 모든 활동부(滑動部)에 정압 공기 베어링을 적용하여, 백래시나 스틱슬립의 원인이 되는 고체 마찰이 완전히 없도록 하였습니다.
  • 공기 베어링에 공급되는 공기 흐름이 난류(亂流)가 됨으로써 생기는 미소한 진동도, 기계 내의 모든 공기 흐름을 층류화(層流化) 함으로써 배제하고 있습니다.

각종 Nano 가공

5축의 표준 기계 본체를 기본으로, 각종의 가공 방법에 대응된 옵션을 준비하고 있습니다.
밀링 가공(동시 5축까지 대응)
  • 밀링용 에어 터빈 스핀들을 탑재하여, 각종 초정밀 밀링 가공이 가능합니다.
  • 스핀들은 B, C축 테이블의 어디에도 탑재 가능. 가공 형상에 맞춘 가공 자세로 세트업할 수 있습니다.
  • 동시 5축 제어 기능에 의해, 소경(小徑)의 구멍이나, 미세 홈 가공뿐만 아니라, 자유 곡면이나 각종 마이크로 어레이 등의 복잡한 형상에 대응할 수 있습니다.
 
스크라이빙 가공(동시 5축까지 대응)
  • 동시 5축 제어되는 비회전 공구를 사용함으로써, 방향, 각도, 깊이, 피치가 연속 변화하는 마이크로 패턴 등, 복잡 형상에도 자유자재로 대응할 수 있습니다.
  • 홈의 각도도 가변 가능하므로, 회절형 렌즈나 홀로그램 광학 소자에서 의료용 마이크로 유로(流路)나 바이오칩 까지, 설계의 자유도를 대폭 향상시킬 수 있습니다.
 
선삭 가공
  • 선삭용 에어 터빈 스핀들을 탑재함으로써, 비구면 렌즈 등의 선삭 가공에 대응합니다.
  • 밀리미터 이하의 소경(小徑) 렌즈에서 φ200mm의 대형 렌즈까지 가공 가능합니다.
  • 다축 제어를 이용함으로써, 피치, 각도, 깊이가 변화하는 복잡한 프레넬(Fresnel) 렌즈도 가공 가능합니다.
 
고속 스크라이빙 가공 (셔틀 유닛)
  • 전용의 셔틀 유닛을 탑재함으로써, 마이크로 홈의 초정밀 가공이 최대 5개/초 라는 고능률로 실현할 수 있습니다.
  • 액정용 도광판(導光板)이나 회절 격자 등의 미세 홈을 단시간에 가공합니다.
  • 미세 딤플(오목한 곳)어레이의 고능률 가공도 가공 가능합니다.
  • 표면 정도는 Ra 1nm대입니다.
 
온머신 계측 기능에 의한 보정 가공(NANOCHECKER)
  • 가공 후, 기계 위에서 워크 형상의 계측 및 보정 가공이 가능합니다.
  • 워크의 모든 면에 대하여 3차원 계측을 행합니다.
  • 축 대칭 형상뿐만 아니라, 복잡한 자유 곡면 형상도 대응 가능합니다.

시험 가공 안내

초정밀 Nano 가공의 적용 가능성에 대하여 이해를 돕기 위하여, 당사에서는 FANUC ROBONANO α-0iB 에 의한 시험 가공을 받고 있습니다.

형상, 재료, 요구 정도(精度) 등, 부디 아래의 문의처로 상담하여 주십시요.

문의처

  • RM영업부(창원) Tel 055-278-1160~3
  • RM영업부(경인) Tel 031-589-3770~5
  • RM영업부(대구) Tel 053-355-1645