자유 곡면의 Nano 가공 정밀도 가공을 실현하는 동시 5축 제어의 초고속·초정밀 Nano 가공기 FANUC ROBONANO α-0iB에 탑재되는, 5축 온머신 계측 기능 FANUC NANOCHECKER 를 개발하였습니다.
FANUC NANOCHECKER 는, ROBONANO α-0iB 가 가공한 워크의 형상을 가공기 상에서 계측하여, 형상 오차가 없도록 보정 가공하는 것으로서, 가공 정도(精度)를 대폭 개선합니다.
워크의 모든 면을 주사(走査)하여 3차원 계측을 행하기 위하여, 일반적인 광학 렌즈처럼 축 대칭 형상에서도, 대칭성이 없는 자유 곡면 형상에서도 대응 가능합니다. 더욱이, 회전축을 이용한 온머신 계측에 의해 ±80° 이상의 경사면 고정도 계측·보정 가공을 실현합니다.

회전축을 이용한 경사면 계측

경사각 ±80° 이상의 렌즈 계측은, 최근 블루레이(Blu-ray) 렌즈 등에서 수요가 높아지고 있으나, 종래 행해져 왔던 계측기 방향을 고정한 계측 방법에서는 경사각이 크게 되면 계측 정도(精度)가 저하하게 됩니다.
ROBONANO α-0iB의 회전축에 의해 계측기의 방향을 바꿀 수 있는 NANOCHECKER는, 급한 경사면에서도 측정자(測定子)가 계측면에 수직이 되도록 제어함으로써, 측정자의 같은 면이 측정 대상에 접촉하여, 측정자의 형상 오차에 의해 생기는 계측 오차를 최소화합니다.

주요 특징

   계측 가능 경사각　±80° 이상
   급한 경사각면에서도, 측정 데이터의 노이즈 증가는 없음.
   초정밀 계측 분해능　1nm
   ROBONANO α-0iB 의 CNC화면에서 직접 조작이 가능함.
 
판매 개시 시기 ： 2010년 4월부터 판매 예정
판매 목표 ： 4대／년

(2010년 4월 신문 발표)